何為程控伺服型勻膠機

AC200-SE程控伺服勻膠機

性能特點：

1.兩種型號可選：AC200-SE（標(biāo)準型）和AC200-PE（型）

2.內(nèi)部緊湊設(shè)計，縮小設(shè)備尺寸，7寸觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作

3.標(biāo)準配置轉(zhuǎn)速10000rpm，可根據(jù)用戶需求進行定制，

4.工業(yè)級伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部

5.機身選用耐腐蝕不銹鋼，內(nèi)腔采用耐腐蝕HDPE材料，排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺底部（利于排風(fēng)效率和勻膠一致性）

6.透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣體的散發(fā)

技術(shù)參數(shù)：

程序設(shè)定：可存儲100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

轉(zhuǎn)動速度：0-10000rpm（高速可定制）

旋涂加速度：0-50000rpm/see（空載）

馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性誤差：小于正負1rpm（AC200-SE）;0.1rpm（AC200-PE）

工藝時間設(shè)定：0-3000sec/step，

時間設(shè)置精度：0.1sec

支持wafer尺寸：碎片至200mm

旋涂作業(yè)均勻性：小于正負3%在6英寸范圍內(nèi)

外形尺寸：433*306*306